北方华创申请冷凝结构等专利, 提高冷却效率
金融界2025年1月30日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司申请一项名为“一种冷凝结构、排气装置及半导体工艺设备”的专利，公开号CN119374405A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本申请公开了一种冷凝结构、排气装置及半导体工艺设备，冷凝结构包括：冷凝腔室；隔板，设置在所述冷凝腔室内，将所述冷凝腔室的内部空间分隔为第一空间和第二空间，所述第一空间和所述第二空间设有连通通道；所述冷凝腔室上设有与所述第一空间连通的进气口，以及与所述第二空间连通的排气口，所述进气口和所述排气口远离所述连通通道设置所述第空间和所述第二空间内分别设置有多个相互平行并间隔排列的阻尼板，相邻的两个所述阻尼板之间的间隙构成冷却通道，所述冷却通道与所述连通通道连通。本申请可以使气体分别在第一空间和第二空间流经冷却通道进行冷却，延长了冷却路径，从而可以提高冷却效率。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1000次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
本文源自：金融界